根據(jù)CEMS煙氣在線監(jiān)測系統(tǒng)流程可知，任一環(huán)節(jié)故障均會導(dǎo)致測量數(shù)據(jù)異常。當(dāng)出現(xiàn)數(shù)據(jù)異常的情況，根據(jù)實(shí)際情況，做出初步判斷，從故障可能性最大的部件開始進(jìn)行逐項(xiàng)排查，直至設(shè)備運(yùn)行正常。

（1）分析儀零點(diǎn)或量程漂移。分析儀的零點(diǎn)或量程漂移不會直觀表現(xiàn)出來，只能通過比對分析，判斷是否出現(xiàn)零點(diǎn)或量程漂移。

（2）分析儀顯示氧量超過或者低于正常值。出現(xiàn)氧量測量值高出正常值時(shí)，檢查取樣管路是否存在泄漏；氧量低或者無顯示時(shí)檢查氧量傳感器是否正常，否則予以更換。

（3）氣路中的水分含量大。檢查取樣探頭及伴熱管線加熱裝置工作是否正常；反吹取樣管路，排除管路中的水分。

（4）分析儀故障。分析儀損壞除設(shè)備老化以外，多為樣氣預(yù)處理不好導(dǎo)致。對分析儀進(jìn)行維修或更換，同時(shí)需檢查采樣管線加熱情況和預(yù)處理設(shè)備工作情況。